2026年3月25日，国家自然科学基金委员会在2026中关村论坛年会开幕式上发布了2025年度“中国科学十大进展”。我校深港微电子学院李携曦副教授联合研究团队的研究成果——“创新方法实现规模化制备柔性超平金刚石薄膜”入选。

李携曦（右二）与研究团队成员在现场合影

金刚石因其超高硬度、优异载流子迁移率、高介电击穿强度、卓越热导率及宽禁带特性，被誉为“终极半导体材料”，在众多领域具有重要应用潜力。然而，传统制备技术长期难以实现大尺寸、超平整金刚石薄膜的规模化生产，成为制约其产业化发展的关键瓶颈。

围绕这一难题，由香港大学褚智勤副教授以及林原教授、南方科技大学深港微电子学院李携曦副教授、北京大学东莞光电研究院王琦研究员等组成的联合研究团队，成功研发出一种可实现大尺寸、超光滑、超柔性金刚石薄膜规模化制备的新方法。相关成果以“Scalable production of ultraflat and ultraflexible diamond membrane”为题发表于《自然》（Nature）期刊。

研究团队基于薄膜生长界面非对称模型，创新提出“边缘暴露剥离”方法，以“一步法”实现英寸级超薄、超平整金刚石薄膜的规模化制备，将传统工艺数十小时的制备流程缩短至数秒，显著提升制备效率并降低成本。所得亚微米厚薄膜兼具亚纳米级粗糙度与360度弯折能力，其超平整表面与现有CMOS工艺高度兼容，并赋予金刚石材料传统块材所不具备的柔韧性。该技术为高品质金刚石薄膜的大规模制备提供了可行路径，有望加速其在电子学、光子学等领域的产业化进程。

“十大科学进展”入选简介指出，该方法有望加速金刚石薄膜在下一代高性能电子器件、柔性光电子器件及量子技术等领域的应用。该成果的主要完成单位为香港大学、南方科技大学、北京大学东莞光电研究院，主要完成人为褚智勤、林原、李携曦、王琦。

据了解，“中国科学十大进展”遴选活动旨在深入贯彻习近平总书记关于科技创新的重要论述，特别是对国家自然科学基金委员会工作作出的重要指示精神，坚持“四个面向”的战略导向，宣传我国基础研究取得的重要进展，激励广大科研人员勇攀科学高峰、产出更多原创性成果；推动基础研究科学普及，促进公众对基础研究的了解、关心和支持。

2025年度“中国科学十大进展”遴选活动（第21届）由国家自然科学基金委员会主办，国家自然科学基金委员会高技术研究发展中心（国家自然科学基金委员会基础研究管理中心）承办。先由150余位相关学科领域专家学者，从推荐的600多项基础研究进展中遴选出30项候选进展，再经包括480余位两院院士在内的3000余位专家学者，对这30项候选进展网络实名投票，遴选出10项进展，最终经审议确定。遴选活动自2005年以来已成功举办21届，共212项基础科学研究成果入选（2005年和2007年分别有11项进展入选），成为集中展示我国基础研究领域年度重要成果的品牌活动。

这是我校成果第四次入选“中国科学十大进展”。此前，我校团队研究成果分别入选2019、2020及2023年度“中国科学十大进展”。

供稿单位：深港微电子学院

通讯员：刘碧